ASML tarixi: tomi oqadigan omborxonadan dunyodagi eng muhim mashina ishlab chiqaruvchisigacha

1984-yil. Niderlandiyaning Eyndxoven shahri — elektronika giganti Philips'ning vatani. Philips laboratoriyalarida yillar davomida bitta g'alati mashina ustida ishlashgan: chip ishlab chiqarish uchun naqshlarni kremniy plastinaga yorug'lik bilan "bosib chiqaradigan" uskuna. Uni litografiya mashinasi deb atashadi.

G'oya yaxshi edi, lekin Philips rahbariyati uni qanday pulga aylantirishni bilmasdi. Bozorda yapon gigantlari — Nikon va Canon hukmron edi. Loyihani yopish yoki kimgadir berib yuborish kerak edi.

Shunda kichik golland kompaniyasi ASM International bilan kelishuv tuzildi: ikkalasi birgalikda yangi korxona ochadi. Unga ASM Lithography — qisqasi ASML — deb nom berildi.

Kompaniyaning boshlanishi kulgili darajada kamtar edi. Taxminan 31 nafar xodim Philips binosi yonidagi vaqtinchalik, tomi oqadigan binoga joylashdi. Yomg'ir yog'sa, chelak qo'yishga to'g'ri kelardi. Dunyoning eng aniq mashinalarini yasashni maqsad qilgan kompaniya uchun bu, yumshoq qilib aytganda, g'alati boshlanish edi.

Va eng yomoni — ASML'ni hech kim jiddiy qabul qilmasdi. Savol bitta edi: Yaponiya bilan raqobatlashib, bu kichkina kompaniya qancha chidaydi?

Birinchi yillar og'ir kechdi. 1985-yilda xodimlar soni 100 ga yetdi va kompaniya Veldxoven shahridagi yangi binoga ko'chdi, lekin daromad xarajatni qoplamasdi. Mijoz topish oson emas edi: chip zavodlari millionlab dollarlik mashinani noma'lum golland kompaniyasidan sotib olishga shoshilmasdi.

1986-yilda bitta muhim qaror qabul qilindi — nemis optika kompaniyasi Carl Zeiss bilan hamkorlik boshlandi. Litografiya mashinasining yuragi — linzalar va oynalar. Zeiss ularni dunyoda eng aniq yasaydigan kompaniyalardan biri edi. Bu hamkorlik keyinchalik ASML tarixidagi eng qimmatli aloqaga aylanadi.

Lekin 1990-yillar boshida inqiroz cho'qqisiga chiqdi. ASM International yetarli daromad ko'rmagani uchun loyihadan chiqib ketdi. Philips ham ASML'ni yopishga juda yaqin keldi. Kompaniyani faqat bir guruh rahbarlarning qat'iyati va Philips'dan undirib olingan oxirgi sarmoya qutqarib qoldi.

Va aynan shu oxirgi imkoniyat natija berdi. ASML PAS 5500 nomli yangi mashina platformasini chiqardi. U shu qadar muvaffaqiyatli bo'ldiki, kompaniya birinchi marta jiddiy mijozlarni qo'lga kiritdi. Bu mashinalarning ba'zilari o'n yillar o'tib ham zavodlarda ishlab turibdi.

1995-yilda ASML to'liq mustaqil kompaniya sifatida Amsterdam va Nyu-York birjalariga chiqdi. Endi u yaponlar bilan teng raqobatlasha boshladi. Lekin oldinda kutilmagan zarba bor edi.

1990-yillar oxirida chip sanoati portlab o'sdi — internet bumi har bir kompyuter va serverga talabni oshirdi. ASML aksiyasi ham osmonga chiqdi.

Keyin 2000-yil keldi. Internet kompaniyalari ketma-ket qulay boshladi, chip zavodlari yangi uskuna buyurtmalarini bekor qildi. 2000-yil o'rtasidan 2002-yil kuzigacha ASML aksiyasi taxminan 86% tushdi. O'sha paytda kompaniyaga $1 000 tikkan odamning qo'lida taxminan $140 qolgan edi.

Lekin ASML aynan shu og'ir yillarda kelajak uchun ikkita muhim qadam qo'ydi.

Birinchisi — 2001-yilda chiqqan TWINSCAN mashinasi. Uning sirli tomoni ikkita "stol" edi: bitta plastina yorug'lik ostida naqsh olayotganda, ikkinchisi bir vaqtning o'zida o'lchab, tayyorlab turiladi. Oddiy tuyulishi mumkin, lekin bu mashinaning ish unumini keskin oshirdi — mijoz uchun esa vaqt eng qimmat narsa edi.

Ikkinchisi — o'sha yili Amerikaning Silicon Valley Group kompaniyasini sotib olish. Bu ASML'ga AQSh bozorida mustahkam o'rin berdi. 2002-yilga kelib ASML dunyodagi eng yirik litografiya uskunasi yetkazib beruvchisiga aylandi va yapon raqiblarini ortda qoldirdi.

Ammo yetakchilik — bu faqat boshlanish edi. Oldinda butun sanoat qarshisida turgan devor bor edi.

Chiplar nega yildan-yilga kuchliroq bo'ladi? Chunki ular ichidagi tranzistorlar — mayda elektr kalitlari — kichrayib boradi. Kichikroq tranzistor degani bitta chipga ko'proq tranzistor, ya'ni ko'proq quvvat.

Lekin bu yerda oddiy fizika muammosi bor. Litografiya yorug'lik bilan chizadi. Yorug'lik to'lqinidan ingichka chiziq chizish esa juda qiyin — xuddi yo'g'on cho'tka bilan ingichka harf yozishga urinishdek.

Sanoat bir necha o'n yil davomida turli hiylalar bilan oldinga siljidi. Masalan, ASML 2000-yillar o'rtasida immersion texnologiyasini ommalashtirdi: linza va plastina orasiga suv qatlami qo'yiladi va bu yorug'likni yanada aniqroq yo'naltiradi. Bu hiyla bir necha avlod chip uchun yetarli bo'ldi.

Ammo hiylalar tugab borardi. Hamma tushunardi: oxir-oqibat butunlay boshqa yorug'lik kerak bo'ladi — to'lqin uzunligi o'n barobardan ko'proq qisqa bo'lgan "ekstremal ultrabinafsha" (EUV) nur.

Muammo shundaki, bunday nurni olish deyarli imkonsiz edi. U havoda ham, oddiy shishada ham yutilib ketadi. Uni oddiy linza bilan yo'naltirib bo'lmaydi. Uni hosil qiladigan ishonchli manba umuman yo'q edi.

Nikon va Canon bu yo'lga jiddiy kirmaslikka qaror qildi. ASML esa kirdi. Va bu qaror kompaniyani 20 yillik, milliardlab dollarlik, tugashi noma'lum sinovga olib kirdi.

EUV mashinasi qanday ishlashini oddiy tilda tushuntirib ko'raylik. Bu ilmiy-fantastik filmga o'xshaydi, lekin hammasi haqiqat.

Mashina ichida vakuum kamerada qalay tomchilari uchib o'tadi — sekundiga taxminan 50 000 ta. Har bir tomchiga kuchli lazer ikki marta uriladi: birinchi zarba tomchini yassi "kulcha"ga aylantiradi, ikkinchisi uni plazmaga — Quyosh yuzasidan ham issiqroq bo'lgan moddaga aylantiradi. Aynan shu plazma EUV nurini chiqaradi.

Nurni linza bilan emas, maxsus oynalar bilan yo'naltirishadi. Bu oynalarni Zeiss yasaydi va ularning silliqligi aqlga sig'maydi: Zeiss ma'lumotiga ko'ra, eng yangi avlod oynasini Germaniya kattaligigacha kattalashtirsangiz, undagi eng katta notekislik 0,1 millimetrdan oshmaydi.

Butun mashina avtobusdan kattaroq. Uni mijozga yetkazish uchun taxminan 40 ta konteyner, 20 ta yuk mashinasi va uchta Boeing 747 samolyoti kerak bo'ladi.

Bularning hammasini o'ylab topish va ishlatish uchun ASML 1990-yillar oxiridan beri tadqiqot olib bordi. Birinchi sinov mashinasi 2010-yilda jo'natildi, lekin u sekin va ishonchsiz edi. Yillar o'tardi, xarajat o'sardi, mijozlar sabri esa kamayardi.

Pul qayerdan keldi? Javob kutilmagan edi.

2012-yilda ASML noodatiy taklif bilan chiqdi: eng katta mijozlar kompaniyaning ulushini sotib olsin va EUV tadqiqotini birgalikda moliyalashtirsin.

Bu g'alati tuyulishi mumkin — nega xaridor sotuvchiga pul beradi? Lekin Intel, TSMC va Samsung buni tushunardi: EUV bo'lmasa, ularning o'zlari chiplarni kichraytirishni davom ettira olmaydi. ASML bu yo'lda yagona umid edi.

Natijada Intel taxminan $4,1 mlrd evaziga ASML'ning 15% ulushini oldi va tadqiqot xarajatlariga hissa qo'shdi. TSMC va Samsung kichikroq ulush bilan qo'shildi.

O'sha yili ASML yana bir qadam qo'ydi: EUV nur manbaini yasaydigan Amerikaning Cymer kompaniyasini $2,5 mlrd dan ortiqqa sotib olish e'lon qilindi (2013-yilda yakunlandi). Ya'ni mashinaning eng qiyin qismini endi o'zi nazorat qila boshladi.

Shunga qaramay, yana bir necha yil kerak bo'ldi. Faqat 2010-yillar oxirida, taxminan 20 yillik ishlanmadan keyin, EUV mashinalari zavodlarda kunlik ishlab chiqarishda ishlay boshladi. Taxminan 2019-yilda ular bilan yasalgan birinchi ommaviy chiplar smartfonlarga tushdi.

Va shu payt ma'lum bo'ldiki, ASML dunyoda bunday mashinani yasay oladigan yagona kompaniya. Raqobatchi yo'q. Bitta ham.

Bir EUV mashinasi yuz millionlab dollar turadi; eng yangi "High-NA" avlodi taxminan $370 mln ga baholanadi. Lekin TSMC, Samsung va Intel uni sotib olishga majbur — chunki eng ilg'or chiplarni boshqa usulda yasab bo'lmaydi. Nvidia'ning sun'iy intellekt chiplari ham, Apple'ning iPhone protsessorlari ham ASML mashinalaridan o'tadi.

Bunday kuch siyosatchilarning e'tiboridan chetda qolmadi. 2019-yildan boshlab AQSh bosimi ostida Niderlandiya hukumati ASML'ning Xitoyga EUV mashinalari sotishini to'xtatdi. Keyingi yillarda cheklovlar eski avlod uskunalariga ham kengaytirildi. ASML uchun bu katta bozorning bir qismini yo'qotishni anglatadi.

Aksiya ham bu davrda tekis yurmadi. 2021-yil yozidagi cho'qqidan 2022-yil kuzigacha chip sanoati sekinlashgani va foiz stavkalari oshgani bois ASML aksiyasi taxminan yarmiga tushdi. 2024-yil oktabrida esa hisobot tasodifan muddatidan oldin e'lon qilinib, zaif buyurtmalar ma'lum bo'lgach, aksiya bir kunda 16% atrofida qulagan.

Ya'ni monopoliya ham investor uchun tinch hayot kafolati emas. Lekin biznesning o'zi haqida bitta narsa aniq: tomi oqadigan binoda boshlangan kompaniya bugun butun texnologiya sanoati tayanadigan tor yo'lakka aylangan.

ASML'ni raqiblardan nima himoya qiladi? Investorlar buni xandaq (moat) deb atashadi — qal'a atrofidagi suvli ariq kabi raqiblarni yaqinlashtirmaydigan to'siq.

• Vaqt va bilim. EUV'ni yaratish uchun 20 yildan ortiq vaqt va o'n milliardlab dollar ketdi. Yangi raqib noldan boshlasa, unga ham shuncha vaqt kerak bo'ladi.
• Ta'minotchilar tarmog'i. Mashina minglab maxsus ta'minotchi qismlaridan yig'iladi, ularning ba'zilari (masalan, Zeiss optikasi) amalda faqat ASML uchun ishlaydi.
• Xizmat. O'rnatilgan mashinalarga xizmat ko'rsatish va ularni yangilash ham doimiy daromad keltiradi.

Xavflar ham aniq:

• Mijozlar soni juda kam — asosan TSMC, Samsung va Intel. Ulardan biri sarmoyani kamaytirsa, ASML buni darhol sezadi.
• Chip sanoati tsiklik: bum yillaridan keyin uskuna buyurtmalari keskin qisqaradi.
• Geosiyosat: eksport cheklovlari bozorni toraytirishi mumkin.

Va eng qiziq ironiya: ASML'ning eng katta mijozi va qisman sarmoyadori bo'lgan TSMC'ning hikoyasi ham aynan shunday — hamma kulgan g'oyadan boshlangan.